Skip to content

Stage-Base

Vibration cancellation system for moving stage semiconductor tools
  • Übersicht +


    TMC setzt weiterhin fortschrittliche Technologie zur Entwicklung neuer Lösungen ein, welche die hohen Anforderungen von Halbleiterinstrumenten erfüllen. Stage-Base 450 wurde speziell als primäres Schwingungsdämpfungssystem für moderne Halbleiterwerkzeuge mit hochpräzisen motorisierten X-Y-Positionierern entwickelt. Diese Werkzeuge benötigen einerseits eine extrem effektive Schwingungsdämpfung, andererseits ist es ebenso wichtig, dass vom Positionierer verursachte Bewegungen der Traglast schnell beruhigt werden, um den Werkzeugdurchsatz zu maximieren. Durch die Ergänzung dynamischer Aktoren mit Vorsteuerung erfolgen noch kürzere Einschwingzeiten und zusätzlich die Verbesserung des Durchsatzes. So entsteht ein modernstes aktives Schwingungs- und Bewegungsdämpfungssystem für Anwendungen mit Positionierern.

    Patent angemeldet

  • Die Vorteile der Stage-Base +


    Stage-Base 450 ist ein aktives, steifes, piezoelektrisches Schwingungsdämpfungssystem der neuesten Generation mit Schwingspulen-Technologie. Nur TMC bietet diese einzigartige serielle Technologie für fortschrittliche niederfrequente Schwingungsdämpfung kombiniert mit dynamischen Aktoren (VCM) für die aggressive Dämpfung von Positioniererbewegungen an.

    Das Stage-Base 450 aktive Dämpfungssystem der neuesten Generation nutzt TMCs STACIS Technologie, um höchste Schwingungsdämpfung mittels piezoelektrischer Aktoren und einer steifen Aufhängung in einer seriellen Architektur zu erreichen. Dies ermöglicht eine in der Branche bisher unerreichte Isolation von Bodenschwingungen ab 0,6 Hz mit einer deutlich niedrigeren anfänglichen Auslenkung als Reaktion auf von Positionierern ausgehende Krafteinwirkung.

  • Spezifikationen +


    • Nutzt die einzigartige STACIS® Technologie
    • Setzt piezoelektrische Aktoren mit hoher Krafteinwirkung und vergrößertem Hub ein
    • Positionierungs-Wiederholgenauigkeit der Traglast im Mikrometerbereich
    • Ausführung für Untergestellmontage
    • 6 aktive Freiheitsgrade
    • Optionale Vorsteuerung und/oder Feedback mit dynamischen Aktoren (VCM)
    • Aktive Schwingungsisolation ab 0,6 Hz
    • Kurze Einschwingzeit nach Positioniererbewegungen
    • Keine weiche pneumatische Aufhängung
    • Digitale Hochgeschwindigkeitssteuerung mit PC-basierter grafischer Benutzeroberfläche (GUI) via USB 2.0
    • Einfach, robust und kosteneffizient
  • Leistung +




  • Fotos von Anwendungsbeispielen +

  • Bestellung +


    TMC kontaktieren. Ein Anwendungstechniker wird ein System für Ihre speziellen Anforderungen konfigurieren und ein Angebot erstellen.