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STACIS III

STACIS III pods and controller on white bg
  • Übersicht +


    STACIS® III ist ein flexibles, fortschrittliches aktives Schwingungsisolationssystem. Durch den Einsatz fortschrittlicher Trägheitsschwingungssensoren, modernster Steueralgorithmen und piezoelektrischer Aktoren auf dem neusten Stand der Technik dämpft STACIS Schwingungen in Echtzeit. Dies erfolgt durch permanente Messung der Bodenaktivität und Auslenken der piezoelektrischen Aktoren zum Dämpfen der Bodenschwingung.

    Ursprünglich für die Isolation von Präzisions-Mikrolithographie-, Mess- und Prüfinstrumenten in modernen Halbleiterfabriken entwickelt, stellt STACIS nun die Standardlösung der Branche für die empfindlichsten Instrumente in unruhigen Umgebungen dar. Dies sind unter anderem Halbleiterfabriken, Labore für Fehleranalyse, Nanotechnologie-Forschungszentren, Nano-Fertigungseinrichtungen und Labore in der Werkstoffforschung.

    STACIS III nutzt eine neue und verbesserte Steuerung, die DC-2020. Mit einem neuen Dual-Core-Prozessor und Ethernet sowie seriellen USB-Anschlüssen an den Front- und Rückplatten bietet dieses neue, fortschrittliche Steuerungssystem dem Benutzer eine moderne und benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI). Mit vielen Hunderten erfolgreichen Installationen weltweit ist STACIS das ideale Schwingungsisolationssystem für die meisten schwingungsempfindlichen Instrumente. 
  • Die Vorteile von STACIS III +


    Hunderte Male steifer als pneumatische Isolatoren wird STACIS nicht durch die typischen Einschränkungen von pneumatischen Schwingungsisolationssystemen beeinträchtigt. Es besteht keine „weiche“ Aufhängung und STACIS kann, anders als andere aktive pneumatische Systeme, ohne Einschränkungen unter einem Instrument mit internen aktiven pneumatischem Isolationssystem positioniert werden.

    Die einzigartige serielle Architektur und die firmeneigene piezoelektrische Technologie für hohe Kompensationskräfte 
    ermöglichen eine aktive Bandbreite von 0,6 Hz bis 150 Hz und eine unerreichte aktive Schwingungsdämpfung mit 90 % Reduktion ab 2 Hz.

  • Leistung +



    Traglast von 2045 kg (4500 lbs.) getestet mit simulierter Schwingung bei VC-C (12,5 μm/s; 500 μin./s, RMS)

  • Spezifikationen +


    Leistungsspezifikationen
    Aktive Freiheitsgrade 6
    Bandbreite (aktiv) 0,6 Hz - 150 Hz
    Passive Eigenfrequenz 18 Hz vertikal und horizontal
    Effektive aktive Resonanzfrequenz 0,5 Hz
    Isolation bei 1 Hz 40 % - 70 %
    Isolation bei ≥2 Hz ≥90 %
    Einschwingzeit nach einem Anstoß von 4,5 kg (10 lb) (Reduktion von 10:1) 0,3 s
    Eigenrauschen <0.1 nm RMSd>
    Betriebslastbereich pro Isolator Niedrige Kapazität: 182-500 kg (400-1100 lbs)
    Mittlere Kapazität: 410-955 kg (900-2100 lbs)
    Hohe Kapazität: 864-2045 kg (1900-4500 lbs)
    Steifigkeit (454 kg / 1000 lb. Masse, Isolator mit mittlerer Kapazität) 40.000 lb/in. (73 x 105 N/m)
    Emittiertes Magnetfeld bei maximal 102 mm (4 in.) Entfernung vom Isolator <0.02 μG broadband RMSd>
    Design, Abmessungen und Umgebungs- und Versorgungsanforderungen des Isolators
    Umwelt und Sicherheit CE- und RoHS-konform
    Aktive Isolationselemente Piezoelektrische Aktoren mit einer Mindestkapazität von 1500 kg (3300 lb.) erhalten ein Signal von einem Hochspannungs-Verstärker mit 800 VDC Ausgangsspannung. Vertikale Aktoren tragen die isolierte Traglast.
    Passive Isolationselemente Einfaches, steifes isotropes Elastomer (keine Druckluftversorgung erforderlich)
    Schwingungssensorkomponenten Nach unten ausgerichtete Geophon-Trägheitssensoren, welche die Bodenschwingungen unterhalb des Isolators messen und Spannung proportional zur Geschwindigkeit der Schwingungsbewegung abgeben
    Aktiver Feedback-Regelkreis Die Bodenschwingung wird gemessen, verarbeitet und unterhalb der Feder, auf der die isolierte Oberfläche lagert, gedämpft
    Abmessungen des Isolators (BxTxH) 11,75 x 12,5 x 10,8 in.
    300 x 320 x 275 mm
    Gewicht des Isolators 75 lb (34 kg)
    Betriebstemperatur 50° - 90° F
    10° - 32° C
    Lagertemperatur -40° - 130° F
    -40° - 55° C
    Luftfeuchtigkeit 30 - 60 %
    Anforderungen an die Stromversorgung des Systems 100, 120, 230, 240 VAC
    50/60 Hz AC; <600 W
    CE-konform
    Bodenamplitude <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd>
    Anzahl der Isolatoren pro System mindestens 3
    Optionen Mehrschicht-Edelstahlplattformen, Rahmen, Sockel, Nivellierer, Erdbeben-Sicherungswinkel, Isolatoren-Montagewinkel
    Spezifikationen der Steuerung DC-2020
    Abmessungen (BxTxH) 19 x 8,5 x 1,75 in.
    483 x 216 x 45 mm
    Gewichts- 6,3 lb (2,9 kg)
    Prozessor 150/75 MHz Dual-Core
    Samplingrate 10 kHz
    Analoge Ausgänge 16 Kanäle
    Analoge Eingänge 16 Kanäle
    Statusleuchte Einzelne LED
    Anschlüsse Frontplatte 1x serieller USB 2.0
    1x serieller Micro-USB
    1x Ethernet RJ-45
    2x BNC
    Anschlüsse Rückplatte 1x serieller USB 2.0
    1x Ethernet RJ-45
    1x RS-232 DB-9 seriell für STACIS 2100 Isolatoren der vorherigen Generation
    Benutzeroberfläche LCD-Display Frontplatte
    Zeichenmenü am HyperTerminal
    Erweitertes graphisches Benutzerinterface für Microsoft Windows
    Integriertes Ethernet graphisches Benutzerinterface
  • Anwendungsbeispiele +

  • Fotos von Anwendungsbeispielen +

  • Bestellung +


    STACIS® III Systeme werden bei der Bestellung speziell auf Ihre besonderen Instrumenten- und Bodenbedingungen abgestimmt. 
    Bitte kontaktieren Sie unser Anwendungstechniker-Team für aktive Systeme, damit wir Ihnen eine geeignete Konfiguration für Ihre Anwendung vorschlagen können.
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