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SEM Base LP for Thermo Fisher

SEM-Base LP floor vibration cancellation for Thermo Fisher scientific tools

  • Overview +


    SEM-Base LP is a custom, low profile version of our standard SEM-Base active piezoelectric vibration cancellation platform. SEM-Base LP is easier to install, provides outstanding performance, and is ergonomically optimized. The compact design facilitates installation without lifting the Scanning Electron Microscope (SEM) column with anything other than the SEM’s built-in leveling feet. And, once installed, the SEM’s height above the floor does not increase. SEM-Base LP incorporates our unique STACIS piezo technology and has the same vibration cancellation performance as our industry-standard SEM-Base VI. SEM-Base LP includes casters and is designed specifically to integrate with many Thermo Fisher Scientific (formerly FEI) tools.

    SEM-Base LP on a TFS frame iso view SEM-Base LP on a TFS frame side view

    Example of how SEM-Base LP integrates with the bottom frame of the tool

  • Compatible Thermo Fisher Tool Models +


    SEM-Base LP is compatible with many Thermo Fisher Scientific models including:

    • Apreo
    • Aquilos
    • Helios 5
    • Nova NanoSEM x50
    • Prisma
    • Quattro S
    • Scios
    • Teneo
    • Verios 5
    • Versa 3D

    If your SEM/FIB is not listed, contact TMC to check for compatibility.

  • The SEM-Base VI Advantage +


    Hard-Mount Technology – SEM-Base VI is compatible with all internal SEM vibration control systems and aggressively mitigates low frequency floor vibration starting at 0.6 Hz.

    Active Inertial Vibration Cancellation – SEM-Base VI uses high sensitivity, low frequency inertial velocity sensors to achieve high levels of vibration attenuation, even on quiet floors. 

    Serial Design with Piezoelectric Technology – The unique serial design and proprietary highforce piezoelectric technology results in a wide active bandwidth from 0.6 Hz to 150 Hz and unmatched, inertial active vibration cancellation with 90% reduction starting at 2 Hz.

  • Performance +



    1800 lbs (818 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)

  • Spezifikationen +


    Leistungsspezifikationen
    Aktive Freiheitsgrade 6
    Bandbreite (aktiv) 0,6 Hz - 100 Hz
    Passive Eigenfrequenz 12 Hz nominal
    Effektive aktive Resonanzfrequenz 0,5 Hz
    Isolation bei 1 Hz 40 % - 70 %
    Isolation bei 2 Hz 90%
    Isolation bei ≥3 Hz 90-98 %
    Eigenrauschen <0.1 nm RMSd>
    Betriebslastbereich Standardkapazität: 408 - 1134 kg (900 - 2.500 lbs)
    Höchstkapazität: 1134 - 1452 kg (2.500 - 3.200 lbs)
    Emittiertes Magnetfeld
    maximal 102 mm (4 in.)
    von der Plattform entfernt    		 <0.02 μG broadband RMSd>
    Design, Abmessungen und Umgebungs- und Versorgungsanforderungen
    Umwelt und Sicherheit CE- und RoHS-konform
    Aktive Isolationselemente Piezoelektrische Aktoren mit einer Mindestkapazität von 1500 kg (3300 lb.) erhalten ein Signal von einem Hochspannungs-Verstärker mit 800 VDC Ausgangsspannung. Vertikale Aktoren tragen die isolierte Traglast.
    Passive Isolationselemente Einfaches, steifes Elastomer (keine Druckluftversorgung erforderlich)
    Schwingungssensorkomponenten Nach unten ausgerichtete Geophon-Trägheitssensoren,
    welche die Bodenschwingungen unterhalb des Isolators messen
    und Spannung proportional zur Geschwindigkeit der Schwingungsbewegung abgeben
    Aktiver Feedback-Regelkreis Die Bodenschwingung wird gemessen, verarbeitet
    und unterhalb der Feder, auf der
    die isolierte Oberfläche lagert, gedämpft
    Abmessungen (BxT) 35,25 x 44,25 in.
    895 x 1124 mm
    Höhe 160 mm (6,3 in.) nominal,
    bleibt nach Abschalten der SEM-Base unverändert
    Betriebstemperatur 50° - 90° F
    10° - 32° C
    Lagertemperatur -40° - 130° F
    -40° - 55° C
    Luftfeuchtigkeit Maximal 80% bei 20°C, Taupunkt: maximal 18°C
    Anforderungen an die Stromversorgung des Systems 100, 120, 230, 240 VAC
    50/60 Hz AC; <600 W
    CE-konform
    Bodenamplitude <800 μin. (20 μm) below 10 Hzd>
    Spezifikationen der Steuerung
    Prozessor 150/75 MHz Dual-Core
    Samplingrate 10 kHz
    Analoge Ausgänge 16 Kanäle
    Analoge Eingänge 16 Kanäle
    Statusleuchte Einzelne LED
    Anschlüsse Frontplatte 1x serieller USB 2.0
    1x serieller Micro-USB
    1x Ethernet RJ-45
    2x BNC
    Benutzeroberfläche LCD-Display Frontplatte
    Zeichenmenü am HyperTerminal
    Erweitertes graphisches Benutzerinterface für Microsoft Windows
    Integriertes Ethernet graphisches Benutzerinterface

  • Video +

    • SEM-Base LP Install Video

      SEM-Base LP Installation Under a Scanning Electron Microscope

  • To Order +


    Contact TMC. An Application Engineer will configure a system for your unique requirements and provide a quotation.
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