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SEM-Base VI

SEM-Base active vibration isolation platform for electron microscopes

  • Übersicht +


    SEM-Base® VI ist die neuste Generation der STACIS aktiven piezoelektrischen Schwingungsdämpfung. SEM-Base VI wurde für die Aufnahme sämtlicher gängigen Rasterelektronenmikroskope (REMs) sowie vieler Focused-Ion-Beam- (FIB) und kleiner Dual-Beam-Instrumente entworfen. SEM-Base VI bietet verbesserte Schwingungsisolationsleistung, eine schnellere, robustere Steuerung sowie eine verbesserte grafische Benutzeroberfläche (GUI). SEM-Base VI wird vielen weiteren Laboren und Einrichtungen ermöglichen, einen Grad von Bodenschwingungen zu erreichen, der den Anforderungen der Instrumentenhersteller entspricht. 

    SEM-Base VI nutzt eine einzigartige „serielle Architektur“, in der die Schwingungssensoren nur die Bodenschwingung messen und keine Eigenschwingungen der Traglast. So wird sichergestellt, dass, anders als bei anderen Konstruktionen, Resonanzen der Traglast nicht automatisch die Schwingungsisolation einschränken oder zu Instabilität führen. Für höchste Empfindlichkeit im schwer messbaren Sub-Hz-Bereich werden niederfrequente Trägheits-Geschwindigkeitssensoren als Schwingungssensoren eingesetzt. In Kombination mit unserer einzigartigen Piezo-Aktoren-Technologie erreicht die SEM-Base VI extrem hohe Werte bei der Schwingungsdämpfung, selbst auf bereits ruhigen Böden. 

    SEM-Base VI bietet im Durchschnitt 6 dB mehr Schwingungsisolation als vorherige Modelle. Zusätzlich verfügt TMCs Steuerung der nächsten Generation, die DC-2020, über einen neuen Dual-Core-Prozessor und bietet Instrumentennutzern und Forschern eine äußert simple und benutzerfreundliche grafische Oberfläche für eine schnelle Systemprüfung und einen problemlosen Betrieb. Wird die DC-2020 über Ethernet verbunden, so stellt sie die graphische Benutzerfläche der SEM-Base im Browser des Benutzers dar, ohne Installation zusätzlicher Software oder Anwendungen. Alternativ kann der Benutzer die Steuerung über ein integriertes, menügesteuertes LCD-Display bedienen. 


    HINWEIS: Siehe SEM-Closure, eine komplette Umgebungslösung, speziell entworfen für die Abschirmung von REMs. Diese kann die SEM-Base und Mag-NetX® in einer abgeschlossenen und temperierten Akustikkammer aufnehmen, um das REM so gegen Bodenschwingungen, Störungen durch Magnetfelder und akustische Störungen zu schützen.

  • Die Vorteile der SEM-Base VI +


    Steife Systemtechnologie – SEM-Base VI ist mit allen internen Schwingungsdämpfungssystemen von REMs kompatibel und dämpft niederfrequente Bodenschwingungen wirkungsvoll ab 0,6 Hz.

    Aktive Schwingungsdämpfung – SEM-Base VI nutzt hochempfindliche, niederfrequente Trägheits-Geschwindigkeitssensoren, um einen hohen Grad von Schwingungsdämpfung zu erreichen, selbst bei ruhigen Böden. 

    Serielles Design mit piezoelektrischer Technologie – Der einzigartige serielle Aufbau und die firmeneigene piezoelektrische Technologie für hohe Kompensationskräfte ermöglichen eine aktive Bandbreite von 0,6 Hz bis 150 Hz und eine unerreichte aktive Schwingungsdämpfung mit 90 % Reduktion ab 2 Hz.

  • Spezifikationen +


    Leistungsspezifikationen
    Aktive Freiheitsgrade 6
    Bandbreite (aktiv) 0,6 Hz - 100 Hz
    Passive Eigenfrequenz 12 Hz nominal
    Effektive aktive Resonanzfrequenz 0,5 Hz
    Isolation bei 1 Hz 40 % - 70 %
    Isolation bei 2 Hz 90%
    Isolation bei ≥3 Hz 90-98 %
    Eigenrauschen <0.1 nm RMSd>
    Betriebslastbereich Standardkapazität: 408 - 1134 kg (900 - 2.500 lbs)
    Höchstkapazität: 1134 - 1452 kg (2.500 - 3.200 lbs)
    Emittiertes Magnetfeld
    maximal 102 mm (4 in.)
    von der Plattform entfernt    		 <0.02 μG broadband RMSd>
    Design, Abmessungen und Umgebungs- und Versorgungsanforderungen
    Umwelt und Sicherheit CE- und RoHS-konform
    Aktive Isolationselemente Piezoelektrische Aktoren mit einer Mindestkapazität von 1500 kg (3300 lb.) erhalten ein Signal von einem Hochspannungs-Verstärker mit 800 VDC Ausgangsspannung. Vertikale Aktoren tragen die isolierte Traglast.
    Passive Isolationselemente Einfaches, steifes Elastomer (keine Druckluftversorgung erforderlich)
    Schwingungssensorkomponenten Nach unten ausgerichtete Geophon-Trägheitssensoren,
    welche die Bodenschwingungen unterhalb des Isolators messen
    und Spannung proportional zur Geschwindigkeit der Schwingungsbewegung abgeben
    Aktiver Feedback-Regelkreis Die Bodenschwingung wird gemessen, verarbeitet
    und unterhalb der Feder, auf der
    die isolierte Oberfläche lagert, gedämpft
    Abmessungen (BxT) 35,25 x 44,25 in.
    895 x 1124 mm
    Höhe 160 mm (6,3 in.) nominal,
    bleibt nach Abschalten der SEM-Base unverändert
    Betriebstemperatur 50° - 90° F
    10° - 32° C
    Lagertemperatur -40° - 130° F
    -40° - 55° C
    Luftfeuchtigkeit Maximal 80% bei 20°C, Taupunkt: maximal 18°C
    Anforderungen an die Stromversorgung des Systems 100, 120, 230, 240 VAC
    50/60 Hz AC; <600 W
    CE-konform
    Bodenamplitude <800 μin. (20 μm) below 10 Hzd>
    Spezifikationen der Steuerung
    Prozessor 150/75 MHz Dual-Core
    Samplingrate 10 kHz
    Analoge Ausgänge 16 Kanäle
    Analoge Eingänge 16 Kanäle
    Statusleuchte Einzelne LED
    Anschlüsse Frontplatte 1x serieller USB 2.0
    1x serieller Micro-USB
    1x Ethernet RJ-45
    2x BNC
    Benutzeroberfläche LCD-Display Frontplatte
    Zeichenmenü am HyperTerminal
    Erweitertes graphisches Benutzerinterface für Microsoft Windows
    Integriertes Ethernet graphisches Benutzerinterface

  • Leistung +



    Traglast von 818 kg (1800 lbs.) getestet mit simulierter Schwingung bei VC-C (12,5 μm/s; 500 μin./s, RMS)

  • Zubehör +


    Klicken Sie hier, um das Zubehör anzusehen 

  • Fotos von Anwendungsbeispielen +


    Scanning electron microscope on SEM-Base VI SEM-Base VI Anwendung 171103

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  • Anwendungsbeispiele +

    • hitachi sem image
      REM-Bildgebung

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    • zeiss auriga images
      REM-Bildgebung

      Vorher-/Nachher-Bilder, Zeiss Auriga FIB-REM auf einer SEM-Base® mit Mag-NetX®

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      Fallstudie

      Aktive piezoelektrische Schwingungsdämpfung ermöglicht den Einsatz moderner Elektronen- und Ionenstrahlinstrumente in schwierigen städtischen Umgebungen

    • zeiss auriga images
      Erhöhte Qualität beim Diamant-Drehen

      Minimierung der Oberflächenrauigkeit zur Entfernung von Diffraktionsfarbe bei diamant-gedrehten Linsenformen für Smartphone- und Tabletkameras

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