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Mag-NetX Aktive Magnetfeldkompensation

Mag-Netx Helmholtz Coil for magnetic field compensation
  • Übersicht +


    Mag-NetX ist ein innovatives aktives Steuersystem zur Kompensation von Magnetfeldschwankungen, das für die Verwendung mit sämtlichen Instrumenten, die Elektronen- oder Ionenstrahlung einsetzen, entwickelt wurde. Durch die firmeneigene analoge Steuerung mit digitaler Benutzerschnittstelle erreicht Mag-NetX eine höhere Echtzeit-Kompensation mit kontinuierlicher Überwachung und bietet dem Benutzer gleichzeitig eine einfache, integrierte LCD-Schnittstelle oder eine PC-basierte grafische Benutzeroberfläche (GUI). Kontinuierliche Überwachung mit Darstellung der gemessenen Felder über das GUI ermöglicht eine Feineinstellung ohne Verwendung des Mikroskopbildes. Alternativ wird durch die automatische Justierung ein einfacher Start für typische REM-Anwendungen ermöglicht.

    Mag-NetX kann als freistehender Käfig, in Kabelkanälen an der Raumwand oder direkt innerhalb von Hauben montierte Helmholtz-Konfiguration an Ihre Anforderungen und Anwendungen angepasst werden.

    Fordern Sie TMC mit Ihren anspruchsvollsten Anforderungen sowohl an die Magnetfeldkompensation als auch Schwingungsisolation für Raster- und Transmissionsmikroskope, Elektronenstrahllithographie und Ionenstahl-Instrumente heraus.

  • Die Vorteile von Mag-NetX +


    Analoge Steuerung mit digitaler Schnittstelle – Durch die analoge Steuerung der Helmholtz-Spulen wird eine präzisere Echtzeit-Kompensation ermöglicht. Ein digitales Bedienfeld bietet dem Nutzer eine einfache LCD-Anzeige oder eine PC-basierte grafische Benutzeroberfläche (GUI).

    Flexibel für Optimierung am Standort – Automatische Justierung für typische Umgebungen und Anwendungen beim Start oder anpassbare Justierung vor Ort bei anspruchsvolleren Umgebungen.

    Echtzeitüberwachung – Kontinuierliche Überwachung mit Darstellung der gemessenen Felder über das PC-basierte GUI ermöglicht Feineinstellung ohne Verwendung des Mikroskopbildes.

  • Eigenschaften +


    • Paarweise Helmholtz-Spulen für maximale Symmetrie und Gleichförmigkeit
    • Kontinuierliche Feldkompensation und -überwachung
    • Verschiedene AC- und DC-Kompensationsmodi verfügbar
    • 100-fache Feldverbesserung (typischerweise)
    • Dynamische Ansprechzeit von 100 µs
    • Präzise Feldmessung
    • Grafische Benutzeroberfläche mit kontinuierlicher Systemüberwachung und -analyse
    • Optionale Vorsteuerungs-Kompensation der Netzfrequenz und Oberwellen
    • Optionale Möglichkeit der Vorsteuerung für andere Eingangssignale
    • Optionale benutzerdefinierte Felderzeugung bei gleichzeitiger Unterdrückung von Störungen
    • Einfach zu montierender Edelstahlkäfig, Wandhalterungssystem für Innenmontage ebenfalls verfügbar
    • Käfigsysteme in sämtlichen Größen verfügbar
    • An der Wand oder einer Haube montierte Konfigurationen beinhalten Plenum-Kabel

     


  • Leistung +


    Diagramm 1: Stärke des externen Sensorsignals gemessen an der Stärke des Störfelds der externen Erreger-Antriebsspule. Die beste Leistung tritt an der Position des Systemsensors auf. Stärke des externen Sensorsignals gemessen an der Stärke des Störfelds der externen Erreger-Antriebsspule. Erregerspule außerhalb des Helmholtz-Käfigs positioniert, externe Sensorspulen um die Systemsensoren positioniert. Aufgrund der Abmessungen des Käfigs ist die Z-Dämpfung geringer, da das Kompensationsfeld für Z eine geringere Gleichförmigkeit als X und Y aber auch ein größeres geschütztes Maß hat. 
  • Spezifikationen +


    System
    Systemkomponenten Magnetsensor mit 3 orthogonalen Achsen, Mag-NetX Steuerung, paarweise Helmholtz-Spulen im Käfig, Konfiguration mit Montage in der Haube oder an der Wand
    Achsen der aktiven Magnetfeldkompensation X, Y, Z
    Sensortyp Fluxgatesensor, Rauschen <10 pT/>radic;Hz @ 1 Hz
    Max. Umgebungs-Gleichfeld (sensorabhängig) ±70 µT standardmäßig
    bis zu ±250 µT verfügbar
    Bandbreite (käfig- und sensorabhängig) DC typischerweise bis zu 1 kHz, bis zu 2 kHz
    Dynamikbereich (käfig- und frequenzabhängig) typ. ±10 µT, bis zu ±100 µT
    typ. 40 dB, max. 55 dB
    Kontrolliertes Volumen gegenüber Magnetfeld-Flussdichte 50 m3 @ 10 µT RMS (abhängig von Käfigparametern)
    1 m3 @ 50 µT RMS (mit der Standard-Steuerung kann das Erdmagnetfeld mit einer speziellen Käfigkonstruktion aufgehoben werden)
    10 m3 @ 50 µT RMS (zur Aufhebung des Erdmagnetfelds in größeren Volumina mit speziellem Käfig und externem Verstärker)
    Feldminderungsrate an der Sensorposition
    bei Einsatz eines typischen Käfigs mit 36 x 36 x 52 in. /
    91 x 91 x 132 cm (L x B x H);
    typ. 40 - 50 dB (100x - 300x) bei DC 100 Hz
    typ. 26 dB (20x) bei 100-500 Hz
    Feldminderungsrate bei typischen
    Elektronenmikroskopsäulen mit einem Volumen von
    12 x 12 x 24 in. / 30 x 30 x 60 cm
    bei Einsatz eines Käfigs mit 60 x 60 x 84 in. /
    1152 x 152 x 213 cm (L x B x H)
    X, Y: typ. 30 dB (32x) bei DC 100 Hz
    X, Y: typ. 20 dB (10x) bei 100-500 Hz
    Z: typ. 15 dB (5,2x) bei DC 100 Hz
    Z: typ. 10 dB (3x) bei 100-500 Hz
    0 dB @ 1000 Hz
    Controller
    Abmessungen 17 x 9 x 1,75 in. / 43 x 23 x 4,5 cm
    Betriebsmodi Nach Einschalten:
    • Automatischer Selbsttest/Kalibrierung und Umschalten auf kontrollierten Modus nach 1 Min. Kein Eingriff des Benutzers erforderlich.
    • Manueller Test/Debug-Modus
    • True-DC-Modus (Kompensation des Erdmagnetfelds)
    • Offset-DC-Modus (Erdmagnetfeld wird ignoriert)
    • Verfolgung von DC-Veränderungen aufgrund von beweglichen Mikroskopteilen
    • Quasi-DC-Modus (Schwankungen von >100 Sek. werden ignoriert)
    • Aufheben und Erzeugen (gleichzeitiges Aufheben von Störungen und Erzeugung eines benutzerdefinierten Feldes)
    Typen von Steuerinstrumenten
    • Analoges Feedback mit digital gesteuerter Verstärkung, DC - 2 kHz
    • Digitales Feedback
    • Digitale Vorsteuerung (zur Kompensation von Stromnetz-Frequenzen und dessen Oberwellen, ohne Reduzierung der Stabilität des Feedback-Regelkreises)
    OK-LED-Anzeige Grün = OK; Gelb = Warnung/Fehler
    LCD-Symbolanzeige 2x20 Zeigt Menü und Status an
    Balken-LED-Anzeigen Zeigt die Stärke des Kompensationsfelds für XYZ in Echtzeit an
    4 Richtungstasten zur Navigation im LCD-Menü
    USB-Anschluss (erscheint am PC als COM-Port) Grafische Benutzeroberfläche für erweiterte Anpassung/Tests, akzeptiert ASCII-Befehle und zeigt Menü an
    Analoge Aux.-Eingänge (DB-37 hinten) Kann als Vorsteuerung oder zur Erzeugung benutzerdefinierter Felder verwendet werden
    GO - NO GO Signalrelais Binär, zur Verwendung als Eingang für geschützte Systeme
    Anforderungen an die Stromversorgung 90-240 VAC, 50/60 Hz, 500 VA max.
  • Konfigurationen Helmholtz-Spulenkäfig +

    • Helmholtz-Spulen für Säulenmontage
      • Helmholtz-Spulen mit Säulenmontage können einfach für REM-Säulen angepasst werden, sind jedoch nicht für TEMs geeignet.
    • Helmholtz-Spulen für Bodenmontage
      • Am Boden montierte Helmholtz-Spulenkäfige können sowohl für REMs als auch TEMs verwendet werden.
    • Helmholtz-Spulen auf einem Gestellrahmen
      • Helmholtz-Spulen können auf einem TMC Gestellrahmen montiert werden.
  • Konfigurationen mit Wandmontage der Helmholtz-Spulen +


    An der Wand montierte Spulen sind eine praktische Alternative zu an Säulen oder auf dem Boden stehenden Spulenkäfigen für TEMs und REMs, die in der Nähe des Raummittelpunkts installiert sind.


    Mag-NetX Magnetfeldkompensationssystem mit an der Wand montierten Helmholtz-Spulen
    1. Spezielle Ausführungen für die Montage in passiv abgeschirmten Räumen verfügbar
    2. Helmholtz-Kabel mit manipulationssicheren zweiteiligen PVC-Kabelkanälen für stromführende Leitungen, direkt an den Wänden angebracht
    3. Standardmäßig mit rauscharmen DC-5 kHz-Fluxgatesensor mit unabhängiger X-Y-Z-Ausrichtung; verschiedene Optionen für Sensoren und Sensorenkonfigurationen verfügbar
    4. Plenum-Kabel für komplett an der Wand montierte Raumsysteme
    5. Aluminiumabdeckungen für Türschwellen, vor Ort zuzuschneiden und anzupassen
    6. PVC- oder Aluminium-Bodenschwellen zur Aufteilung großer Räume, falls erforderlich

     Konfigurationsoptionen für Mag-NetX Magnetfeldkompensationssystem mit an der Wand montierter Helmholtz-Spulen
     
  • Steuerungen und Sensoren +


    Merkmale Mag-NetX Steuerung und Sensoren
    Typische Sensorinstallation
    Mag-NetX typische Positionen für die Sensorinstallation
  • Anwendungsbeispiele +

    • Mag-NetX®

      Vorher-/Nachher-Bilder, Zeiss Auriga FIB-REM auf einer SEM-Base® mit Mag-NetX®

    • Mag-NetX®

      Magnetometer von Bartington Instruments für den Einsatz in der Magnetfeldkompensation und zur benutzerdefinierten Felderzeugung

  • Fotos von Anwendungsbeispielen +

  • Bestellung +


    TMC kontaktieren
    Ein Anwendungstechniker wird ein System für Ihre speziellen Anforderungen konfigurieren und ein Angebot erstellen.