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PEPS® II Aktives pneumatisches Nivellierungssystem

  • Übersicht +


    PEPS® II ist ein Verbesserung des patentierten PEPS® (Precision Electronic Positioning System) von TMC. Durch die Ergänzung einer neuen digitalen Steuerung ist PEPS® II benutzerfreundlicher, verfügt über mehr Funktionen sowie eine verbesserte Benutzeroberfläche. PEPS® II ist ein digitales, kontaktloses Höhenregelungssystem für pneumatische Schwingungsisolationssysteme von TMC. Solche Systeme verfügen über mechanische Höhenregelventile und sind an eine Höhenerkennung gekoppelt. Anwendungsbereiche des Systems reichen von der Verbesserung der Einschwingzeit und Erhöhung der Ausbeute von Fertigungswerkzeugen für Halbleiter bis zu Präzisions-Laborumgebungen, die optimale Leistung und Plattformstabilität bei Schwingungseinwirkung erfordern. 

    U.S.-Patent-Nr. 5,832,806

  • Eigenschaften +


    • Digitale Steuerung, benutzerfreundliche LCD-Anzeige
    • Kontaktlose elektro-pneumatische Höhenregelung für Gimbal Piston™, CSP® und MaxDamp® Schwingungsisolationssysteme
    • Wiederholgenauigkeit für Positionierung auf der Z-Achse: 10 Mikrometer
    • Verbesserte Schwingungsisolation durch Entfernen des Hebel-Kontaktpunkts herkömmlicher mechanischer Höhenregelungssysteme
    • Pneumatische Vorsteuerung minimiert Reaktionen der Z-Achse auf Positioniererbewegungen in X-Y-Richtung
    • Kann für die schnelles Einschwingen von durch X-Y-Positionierer ausgelösten Bewegungen angepasst werden
    • Optionale „VX“-Funktion umfasst Trägheitssensoren für die aktive Dämpfung vertikaler Isolatorenresonanz
    • „Soft-Dock“-kompatibel. Ermöglicht die Beladung/Entladung von Wafern ohne kinematische Halterung
    • Proportionale elektronische Ventile. Kein Impulsgeräusch aufgrund von Ein-/Ausschalten oder herkömmlichen elektronischen Ventilen
    • Entlüftung über Schlauchsystem, für saubere Abführung von Abluft
    • Logische Andock-Steuerung und Status
  • Spezifikationen +


    Physische Abmessungen
    PEPS® II Steuerung 43,7 mm (1,72") H x 203 mm (8,0") B x 240 mm (9,4“) T
    Gewicht
    PEPS® II Steuerung: ca. 1,2 kg (3,0 lb)
    Umgebung
    (Siehe EN 61010-1: 1993,
    EN 61010-1/A2: 1995)
    Nur zur Verwendung in Innenräumen, bis zu einer Höhe von 2.000 m (6560 ft.)
    Maximal zulässiger Temperaturbereich: 5° C bis 35° C
    Maximal zulässige Luftfeuchtigkeit: 80 % bis zu 31° C, linear abfallend bis 50 % relative Luftfeuchtigkeit bei 40° C
    Versorgungsspannungsbereich: 85 VAC - 240 VAC
    Überspannungskategorie: 2
    Verschmutzungsgrad (IEC 664): 2
    Belüftungs-Anforderungen: 25 mm Freiraum an den Seiten, 0 mm oben und unten
    Anforderungen an die Stromversorgung
    Eingangsspannungsbereich: 90-230 VAC
    Eingangsfrequenzbereich: 50-60 Hz
    PEPS® II Benutzerschnittstelle
    (Frontplatte)
    Netzschalter
    4 Menütasten
    LCD-Anzeige 20 x 2 Zeichen
    2 Diagnosebuchsen (Typ BNC)
    Dreifarbige Status-LED
    USB-Port
    PEPS® II Schnittstelle
    (Rückplatte)
    Wechselspannungseingang mit Netzfilter
    1 Luft-EINGANG Schnellkupplung für Schlauchleitungen mit 1/4“ Außendurchmesser
    1 Luft-AUSGANG (Abluft) Schnellkupplung für Schlauchleitungen mit 1/4“ Außendurchmesser
    4 Luft-Schnellkupplungen für Schlauchleitungen mit 1/4“ Außendurchmesser (einer pro Isolator)
    Eingänge/Ausgänge für DB25-Stecker und Buchse für Vorsteuerung
    1 Phoenix-Stiftleiste GRÜN, Rastermaß 0,2", 6-polig (vertikale Näherungssensoren)
    1 Phoenix-Stiftleiste SCHWARZ, Rastermaß 3,5 mm, 6-polig (horizontale Näherungssensoren)
    Erdungs-Gewindestift (Gewinde 10-32)
    DB25-F-Buchse: 1x digitaler Eingang, 3x Geophon-Sensorenschnittstelle („VX“-Option)
    DB25-F-Buchse: 1x digitaler Eingang, 3x Stromausgang Näherungssensoren (optional)
    PEPS® II
    Leistung
    Spezifikationen
    Analoge Eingänge (unipolar): 8 x 12 Bit (16 Bit bei Oversampling), 0…3,0 V Vollaussteuerung
    Analoge Eingänge (Vorsteuerung): 5 x 12 Bit
    (16 Bit bei Oversampling), ±9 V Vollaussteuerung
    Analoge Eingänge (unipolar) Schutz: +5 Volt, -0,5 V Clipping
    Analoger Eingang (Vorsteuerung) Schutz: ±15 Volt Clipping
    Analoge Ausgänge: 4 x 12 Bit (16 Bit mit Oversampling), 0…3,0 V Vollaussteuerung
    Analoge Ausgänge (OPTIONAL): 8 x 16 Bit, 0…3,0 V Vollaussteuerung
    Analogausgang Schutz: unbegrenzter Kurzschlussschutz, +5 Volt Clipping
    Nennspannung digitaler Eingang: 0…+3,3 V, +5 V tolerant (+5 Volt Clipping)
    Nennwert digitaler Ausgang: 0…+3,3 V, 20 mA max.
    Digitale E/A Schutz: +5 Volt, -0,5 Volt Clipping
    Verfügbarer externer Strom: +5 VDC, 2,0 A max.; +15 VDC, 1,0 A max. (20 Watt max.)
    Kommunikationsanschluss: USB, erscheint als RS-232 am PC
    Prozessor: ARM7TDMI / 41,78 MHz
    Regelkreisfrequenz: 100 Hz - 2,0 kHz
    Näherungssensoren: 3x vertikal, (3x horizontal optional) Wirbelstrom, NAMUR 0-20 mA Ausgang
    Geschwindigkeitssensoren - Geophone („VX“-Option): 3x vertikal, Stromausgang
    Pneumatisch
    Spezifikationen
    Langzeit-Höhenstabilität: ±50 Mikrometer
    Langzeit-Kippstabilität: ±50 Mikrometer-Radianten
    Servoventile: 4 x proportionale Zweiwege-Servoventile mit variablen Düsen
    Ventilsystem: nur Klasse A
    Maximaler Eingangsdruck: 120 PSI oder 8,3 Bar oder 830 KPa
    Nominaler Luftverbrauch: 60 slpm (2 scfm)
    Luftanforderungen: saubere, trockene Luft, auf 20 Mikrometer oder besser gefiltert
    Ausfallsicherung: Isolatoren lassen bei Stromausfall oder Abschaltung Luft ab
    Pneumatische Anschlüsse: Schnellkupplungen für Schläuche mit 1/4“ Außendurchmesser
  • Leistung +


  • Bestellung +


    TMC kontaktieren Ein Anwendungstechniker wird ein System für Ihre speziellen Anforderungen konfigurieren und ein Angebot erstellen.