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Aktive & passive Schwingungsisolatoren (OEM)

  • micro-g pneumatic isolators for OEM integration thimbnail
    Micro-g Air pneumatische Isolatoren zur Integration in Geräten

    Micro-g® pneumatische Hochleistungs-Schwingungsisolatoren mit verschiedenen Tragfähigkeiten, Dämpfungsgraden und Optionen für die Höhenregelung - zur Integration in Geräte von Erstausrüstern (OEMs)

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  • ElectroDamp stage vibration cancellation
    Electro-Damp® II aktive pneumatische Schwingungsdämpfung

    Electro-Damp® wurde speziell für die Erhöhung des Durchsatzes, der Auflösung und der Ausbeute bei Anwendungen in der Halbleiterfertigung entwickelt. Electro-Damp II verfügt zudem über einen modularen Aufbau, eine digitale Steuerung, Vorsteuerung, Aktoren mit hoher Krafteinwirkung/großem Stellweg und verschiedene digitale Benutzeroberflächen, die speziell für den Einsatz in OEM-Anwendungen entworfen wurden.

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  • PEPS II pneumatic isolator controller
    PEPS® II Aktives pneumatisches Nivellierungssystem

    PEPS® II ist ein digitales, kontaktloses Höhenregelungssystem für pneumatische Schwingungsisolationssysteme von TMC. Seine Anwendungsbereiche reichen von der Verbesserung der Einschwingzeit und Erhöhung der Ausbeute von Fertigungswerkzeugen für Halbleiter bis zu Präzisions-Laborumgebungen, die optimale Leistung und Plattformstabilität bei Schwingungseinwirkung erfordern.

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  • Vibration cancellation for semiconductor moving stage tools
    Stage-Base™

    TMCs Stage-Base™ 450 wurde speziell als primäres Schwingungsdämpfungssystem für moderne Halbleiterwerkzeuge mit hochpräzisen motorisierten X-Y-Positionierern entwickelt. Durch die Ergänzung dynamischer Aktoren mit Vorsteuerung erfolgen noch kürzere Einschwingzeiten und zusätzlich die Verbesserung des Durchsatzes. So entsteht ein modernstes aktives Schwingungs- und Bewegungsdämpfungssystem für Anwendungen mit Positionierern.

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