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MaxDamp® – Stark gedämpftes pneumatisches Schwingungsisolationssystem

micro-g floor vibration isolators for OEM integration
  • Übersicht +


    MaxDamp® ermöglicht zusätzliche Dämpfung für diese Anwendungen, als Kombination von pneumatischen Gimbal Piston Isolatoren mit interner unveränderbarer flüssig-viskoser Dämpfung. Auch ohne die aggressive, höchstmögliche Dämpfung unserer UltraDamp Serie ist MaxDamp eine ausgezeichnete Wahl, wenn Dämpfung bei nur kleinsten Einschränkungen bei der Schwingungsdämpfung gewünscht ist. MaxDamp wird für Traglasten mit motorisierten X-Y-Tischen mit hoher Krafteinwirkung und Geschwindigkeit empfohlen, die eine niedrige Einschwingzeit der Traglast erfordern. Ideal für Halbleiter-Prüf- und Lithographiewerkzeuge sowie andere Instrumente mit motorisierten Positionierern mit relativ hoher Krafteinwirkung.
  • Die Vorteile von MaxDamp +


    Kombiniert die Vorteile der selbstnivellierenden Gimbal Piston™ pneumatischen Isolatoren mit hoher Dämpfung

    Ideal für Traglasten mit durch Roboter bewegte oder motorisierte Positionierer, die sowohl Schwingungsisolation als auch aggressive Beruhigung von durch die Traglast ausgelösten Bewegungen erfordern

    Schnellerer Werkzeugdurchsatz und höhere Ausbeute

    Horizontale und vertikale Schwingungsisolation ab 3 Hz

    Minimale Verstärkung der Resonanz (8-12 dB) 

    Modulares Design. Erweiterbar zu Electro-Damp® aktive Schwingungsdämpfung
  • Eigenschaften +


    • Kürzere Einschwingzeiten der Traglast.
    • Schnellerer Durchsatz und höhere Ausbeute bei Werkzeugen für LCD- und Halbleiterfertigung und Halbleiter-Inspektionssysteme.
    • Isolierte Oberfläche mit „starrerem“ Feeling bei gleichzeitig hoher Schwingungsisolationsleistung.
    • Geringere durch Luftströme und Schall sowie innerhalb des Systems erzeugte Kräfte ausgelöste Schwingungen.
  • Leistung +


    Vergleich der Dämpfungsgrade von Gimbal Piston®, MaxDamp® und UltraDamp™



  • Bestelltabelle +


    TMC kontaktieren. Viele TMC Isolatoren sind mit UltraDamp™ Dämpfungsgrad erhältlich.