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STACIS als mikroseismischer Shaker

Gerätehersteller können STACIS® einsetzen, um zur Festlegung der Vibrationskriterien der Geräte Bodenschwingungen im Mikrometerbereich als Simulation echter Bodenaktivität zu erzeugen.

Für Hersteller von Halbleiteranlagen, Elektronenmikroskopen und anderen Präzisionswerkzeugen ist es schwer, aussagekräftige Kriterien für Bodenschwingungen für ihre Instrumente zu entwickeln. Diese Kriterien können entweder theoretisch oder empirisch abgeleitet werden. Theoretische Berechnungen sind extrem komplex und oft praxisfern oder spiegeln aufgrund der Vielzahl von Variablen, die nicht problemlos modelliert werden können, nicht die tatsächliche Werkzeugempfindlichkeit wider. Empirisch abgeleitete Bodenschwingungskriterien basieren typischerweise auf der Erfassung von Informationen zur Instrumentenleistung von einer großen Zahl von Installationen mit verschiedenen Bodenschwingungsgraden. Diese Bodenschwingungs-Niveaus und die entsprechende Instrumentenleistung werden verwendet, um eine Obergrenze für Schwingungsamplituden über ein Frequenzspektrum hinweg festzulegen, das den Werten entspricht, bei welchen eine akzeptable Instrumentenleistung erzielt wird. Beide Ansätze sind äußerst schwierig, zeitaufwendig und führen zu keiner präzisen Schwingungsspezifikation für das Gerät.

STACIS als seismischer Shaker

Gleichzeitig als Schwingungsisolationssystem und seismischer Shaker im Mikrometerbereich eingesetzte STACIS Isolatoren in TMCs eigenem Werk für den Test anderer Schwingungsisolationsprodukte.

STACIS® bietet einen komplett einzigartigen und neuartigen Ansatz für die Entwicklung von Werkzeug-Vibrationskriterien. STACIS wird üblicherweise als Isolations-/Dämpfungssystem für Bodenschwingungen eingesetzt, kann jedoch auch mit einem Shaker-Eingangssignal im Mikrometerbereich verwendet werden. Dieses Shaker-Signal kann weißes Rauschen, eine diskrete Frequenz oder eine Gleitsinus-Wellenform sein. STACIS kann getrennten oder kombinierten Input für Schwingungen der X-, Y- und Z-Achse bereitstellen. Als Shaker kann STACIS für die Dämpfung von Bodenschwingungen in Gebäuden und zur Bereitstellung eines ruhigen Fundaments eingesetzt werden und diese gleichzeitig mit der gewünschten Frequenz und dem für die Überprüfung der Instrumentenleistung erforderlichen Amplituden-Vibrationsspektrum überlagern. Kein anderes Shaker-System kann Eingangssignale bis zu solch geringen Amplituden steuern. Kein anderes Shaker-System kann umgebende Bodenschwingungen isolieren und gleichzeitig ein kontrolliertes Vibrations-Frequenzspektrum bereitstellen. Die an der digitalen Steuerung von STACIS erzeugte Schwingung mit extrem niedrigen Amplituden wird nicht durch Umgebungsschwingungen des Gebäudes am Teststandort beeinträchtigt.

Auf dem STACIS Isolations-/Shaker-System können ganze Arbeitsinstrumente montiert und die STACIS Schwingungsamplituden während der Auswertung der Gesamtleistung des Instruments angepasst werden. Das Instrument kann durch bestimmte Frequenzen oder Frequenzbänder angeregt werden, um das exakte Verhältnis von Amplitude/Frequenz des Schwingungseingangs zu bestimmen, welches die Gesamtleistung des Instruments begrenzt. Das Ergebnis ist ein allgemeines Niveau der Werkzeug-Vibrationskriterien, das dem exakten Schwingungsgrad entspricht, bei dem das Instrument optimale Leistung erbringt. Diese Tests können relativ schnell und einfach durchgeführt werden – ohne dass Instrumente zum Kundenstandort verschickt werden müssen, auf große Mengen von Felddaten gewartet oder sich auf fragwürdige Modellinformationen verlassen werden muss.


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